近10年來，由于廣泛采用和吸收微電腦控制、微機械等新技術、新成果與成熟經驗，使精小型電動執行器得到迅速發展，現在已經廣泛使用“微機＋隨動系統”結構模式的微機型電動執行器，它由微處理器完成信號傳遞、調節參數切換、狀態指示、控制量的輸出，增強了調節系統的性能、使用及維護保養等方面的靈活性。
   （1）調試階段故障
    精小型電動執行器的故障問題比較復雜，其特征是設計、制造、安裝及管理等諸多問題交織在一起。常見的故障有泄漏嚴重、速度難以調整穩定，贓物或油污使傳動機構卡澀或動作失靈。某些組件漏裝或裝錯彈簧、密封件，有些屬于設計欠妥，元件選擇不當，動作不平穩、定位精度差等，對待這類故障，應耐心細致、慎重處理，逐一排除。
    （2）運行初期和中期故障
    調試后進入正常生產階段的故障特征是，少數密封件由于裝配質量和材料質量問題短期內損壞而漏油，同時粘附在管壁、孔壁上的毛刺、粘沙、雜質和贓物脫落導致某些元件工作不穩定。通常在運行中期，系統元件/組件處于*運行工作狀態，故障率較低。
    （3）運行后期故障
    精小型電動執行器運行一段時間后，各類元件/組件因工作頻率和負載條件的差異，各易損件先后磨損超標，這個階段的故障特征是位置反饋接觸不良、定位精度差、穩定性下降、效率顯著降低、故障率逐漸增加。這時應全面檢查，更換失效部件，全面修復故障。否則將給運行人員帶來很多不便，甚至嚴重影響機組的正常調節和控制。